简介： 在用于化学分析的系统(10)中,包括一对隔开的并且被等离子体绝缘的电极(14,16)、电极(14,16)的射频驱动的等离子体电离器件(11)被接到电源(22)上,其中电极(14,16)起谐振电路(22c)的电容器极板的作用,气体(S)放电并形成阳离子和阴离子两者的等离子体,而电压是作为连续的交变波形或作为一系列脉冲(例如,分组波形)加上去的。