简介： 本发明公开了一种硅钢EBSD试样的制备方法，包括步骤：S1、镶嵌：采用导电型镶嵌料对硅钢试样进行镶嵌；S2、机械抛光：对镶嵌后的试样进行抛光；S3、配置腐蚀剂；S4、侵蚀：将抛光后的试样浸入腐蚀剂中，侵蚀时间为6‑8秒；S5、清洁：对侵蚀后的试样表面进行清洁。本发明的硅钢EBSD试样的制备方法，可以制备符合硅钢EBSD分析的试样，制备过程操作简单，易于掌握，通过对试样的机械抛光和简单的化学浸蚀，可以提高硅钢EBSD试样的衍射花样解析率，效果良好。