简介： 超声激励的运动方向可调的微机器人及其原位制备芯片属于微纳驱动领域。所述超声激励的运动方向可调的微机器人包括微机器人主体、柔性尖锐尾部Ⅰ、柔性尖锐尾部Ⅱ和头部捕获口。所述微机器人主体采用椭圆形轮廓流线型设计，在微机器人主体的一端连接两个成一定夹角(β)的柔性尖锐尾部，分别是柔性尖锐尾部Ⅰ和柔性尖锐尾部Ⅱ；在微机器人主体的另一端有头部捕获口。本发明所述微机器人及其原位制备芯片的生物兼容性良好，可广泛应用于生物医学、化学分析等领域，满足靶向送药及原位制造微器件存储等应用需求。