简介： 本发明提供的是一种锯齿形流道单向压电微泵。它包括泵体、泵盖和驱动装置,泵盖上开有泵腔、流体进、出口锯齿形流道等结构,泵盖上开有进口与出口,泵体与泵盖键合在一起,驱动装置由PDMS压电薄膜和压电陶瓷片粘结在一起,PDMS薄膜与泵体采用不可逆粘结法粘结在一起。本发明的微泵体积小、结构简单、操作方便,适合批量化生产,并且由于没有移动部件,微泵寿命相对较长。本发明的产品可广泛用于仪器仪表、医疗器械、化学分析、药物食品以及航空航天等领域。