硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法及其应用
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硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法及其应用
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简介: 本发明公开了一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法,首先将硅片切割时产生的废砂浆进行回收,将聚乙二醇提取出来另用,剩余的含有碳化硅和硅粉的浆料制成滤饼,晾晒至水分小于10%后,破碎成粒度小于3mm的颗粒料,经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用;称取粘合剂和润湿剂,与颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料,入炉烘焙,待其水分小于2%时冷却出炉,得到理化指标为:TSi=30~70%,Tc=10~25%,S≤0.1%,H2O≤2%的复合硅碳球成品。本发明制造工艺简单,实现了硅片切割加工过程中产生的副产品-废砂浆中所含资源的综合利用,大大减少了环境污染,产生了较大的经济效益和社会效益。
本发明公开了一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法,首先将硅片切割时产生的废砂浆进行回收,将聚乙二醇提取出来另用,剩余的含有碳化硅和硅粉的浆料制成滤饼,晾晒至水分小于10%后,破碎成粒度小于3mm的颗粒料,经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用;称取粘合剂和润湿剂,与颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料,入炉烘焙,待其水分小于2%时冷却出炉,得到理化指标为:TSi=30~70%,Tc=10~25%,S≤0.1%,H2O≤2%的复合硅碳球成品。本发明制造工艺简单,实现了硅片切割加工过程中产生的副产品-废砂浆中所含资源的综合利用,大大减少了环境污染,产生了较大的经济效益和社会效益。
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标签:化学分析
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