简介： 本发明为一种拉曼增强衬底的制作方法。本发明将基底（无机衬底）放入等离子体化学气相沉积系统中的生长区域，通入含有碳元素的反应源气体，控制反应源气体的气压值为0.01Torr‑760Torr；控制基底温度在300‑1200℃，开等离子体电源，设定等离子体功率为1‑1000W，使反应源气体分子裂解，活性基团在等离子体的作用下发生反应，在基底表面，生成石墨烯量子点，通过调控生长温度和生长时间，制备不同尺寸的石墨烯量子点拉曼增强衬底。在所制备的拉曼增强衬底表面滴需要检测分子的溶液，通过激光拉曼仪器，测得高灵敏的拉曼增强信号。本发明制备的拉曼增强衬底，无污染，灵敏度高，可大面积制备，制备步骤简单容易实现。