简介： 一种可调谐三角形金属纳米粒子阵列结构的制作方法,步骤:(1)根据透射波长的需要选择合适型号的基底,对基底进行清洗、亲水化处理;(2)在基底表面均匀的自组装一层纳米球;(3)采用反应离子刻蚀机RIE工艺对制作的纳米球自组装层进行刻蚀,改变纳米球的间隙的尺寸大小;(4)利用刻蚀后的纳米球自组装作为模具,在球与球之间的间隙处填充金属;(5)通过Lift?off工艺去除纳米球自组装层,得到阵列化的金属纳米结构芯片。本发明制作的金属纳米结构芯片的光学性质可控,可应用于局域表面等离子体共振(LSPR)传感、表面增强拉曼光谱(SERS)探测领域,实现生物、化学分子的快速检测。