简介:
本发明公开了一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法,喷墨头前端包括墨水腔板和喷嘴板,墨水腔板和喷嘴板均采用玻璃晶圆制成,透明喷墨头的制备包括以下步骤:S1、在墨水腔板的玻璃晶圆上蒸镀下电极,利用丝网印刷工艺按照电极图案印刷压电陶瓷层;S2、在压电陶瓷层上继续印刷上电极;S3、通过半导体键合工艺将墨水腔板和喷嘴板键合在一起;S4、在压电陶瓷极化仪中将压电陶瓷层中的压电陶瓷极化。本发明使喷墨头的内部结构被直观观察,减少喷墨头的故障检测步骤和检修维护成本,喷嘴板固定稳固同时适应于多种墨水成分,还能简化压电驱动端的制备工艺、减少化学品的使用以及降低压电驱动端的制备成本,以满足生产及环保需求。
本发明公开了一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法,喷墨头前端包括墨水腔板和喷嘴板,墨水腔板和喷嘴板均采用玻璃晶圆制成,透明喷墨头的制备包括以下步骤:S1、在墨水腔板的玻璃晶圆上蒸镀下电极,利用丝网印刷工艺按照电极图案印刷压电陶瓷层;S2、在压电陶瓷层上继续印刷上电极;S3、通过半导体键合工艺将墨水腔板和喷嘴板键合在一起;S4、在压电陶瓷极化仪中将压电陶瓷层中的压电陶瓷极化。本发明使喷墨头的内部结构被直观观察,减少喷墨头的故障检测步骤和检修维护成本,喷嘴板固定稳固同时适应于多种墨水成分,还能简化压电驱动端的制备工艺、减少化学品的使用以及降低压电驱动端的制备成本,以满足生产及环保需求。