简介： 本专利涉及一种多功能气体循环净化装置。此装置包含一个净化塔和一个干燥塔，增压泵、压力表、流量计、进气阀、中间阀、出气阀、检测阀，用于固定净化塔、干燥塔的框架及相关配件。其中各个部件之间通过阀门、管道的连通形成闭合气体回路，内部循环净化，无需外部高纯气体的不断充入。净化塔可根据需要放置不同的化学试剂来除去相应气体，干燥塔中的化学试剂可循环重复使用。干燥塔具有除水剂再生系统，可根据实际情况进行再生。净化塔与干燥塔之间通过进气阀与中间阀控制，可独立形成净化回路和干燥塔再生气路。此装置既能解决气体净化过程需要不断外部注入高纯气体的问题、降低净化成本，又能保证循环净化干燥、深度净化、深度干燥。