光电转换元件的制造方法及光学传感器
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光电转换元件的制造方法及光学传感器
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及光电转换元件的制造方法及光学传感器。提供有光电效应灵敏度高的活性层的光电转换元件的制造方法。提供具备活性层的光电效应灵敏度高的光电转换元件的光学传感器。光电转换元件的制造方法具有生成有化学式1所示的重复单元的活性层的活性层生成工序。活性层生成工序具有:第一层形成工序,涂布包含聚酰胺酸的第一液,形成第一层;第一加热工序,将第一层于120℃加热20分钟至60分钟;第二加热工序,将第一层于230℃至280℃加热10分钟。光学传感器具备基板;层叠于基板的传感器部,传感器部有检测电极、电子传输层、活性层、空穴传输层及对置电极,且有层叠于基板的光电转换元件,活性层由有下述化学式5表示的重复单元的聚酰亚胺系材料形成。
本发明涉及光电转换元件的制造方法及光学传感器。提供有光电效应灵敏度高的活性层的光电转换元件的制造方法。提供具备活性层的光电效应灵敏度高的光电转换元件的光学传感器。光电转换元件的制造方法具有生成有化学式1所示的重复单元的活性层的活性层生成工序。活性层生成工序具有:第一层形成工序,涂布包含聚酰胺酸的第一液,形成第一层;第一加热工序,将第一层于120℃加热20分钟至60分钟;第二加热工序,将第一层于230℃至280℃加热10分钟。光学传感器具备基板;层叠于基板的传感器部,传感器部有检测电极、电子传输层、活性层、空穴传输层及对置电极,且有层叠于基板的光电转换元件,活性层由有下述化学式5表示的重复单元的聚酰亚胺系材料形成。
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标签:化学分析
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