简介： 本发明提供一种短链芳香烃分子介导硅基底固定DNA探针的方法。所述短链芳香烃分子介导硅基底固定DNA探针的方法包括以下步骤：S1：建立基于AFM的微纳加工系统；S2：利用微纳加工系统和机械‑化学相结合的方法制作可控自组装芳香烃单层膜；S3：将DNA探针固定在所述芳香烃偶连层修饰的硅表面；S4：对DNA进行检测和表征。本发明提供的短链芳香烃分子介导硅基底固定DNA探针的方法具有利用微纳制造技术中的机械‑化学方法来实现硅表面可控自组装单链DNA的制备，解决目前DNA探针制备存在的尺寸、位置和形状都不可控的问题的优点。