聚吡咯表面修饰硅纳米线气敏元件及其应用
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聚吡咯表面修饰硅纳米线气敏元件及其应用
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简介: 本发明公开聚吡咯表面修饰硅纳米线气敏元件及其应用,利用化学刻蚀处理单晶硅片,以使单晶硅片表面产生垂直于单晶硅片表面的一维硅纳米线阵列;将引发剂溶液和吡咯单体溶液先后旋涂在经步骤2处理的单晶硅片,以使在一维硅纳米线阵列中原位引发吡咯聚合成聚吡咯,形成具有聚吡咯表面修饰一维硅纳米线阵列的单晶硅片,实现对NH3气体在室温下的瞬时检测,并且具有良好的选择性。
本发明公开聚吡咯表面修饰硅纳米线气敏元件及其应用,利用化学刻蚀处理单晶硅片,以使单晶硅片表面产生垂直于单晶硅片表面的一维硅纳米线阵列;将引发剂溶液和吡咯单体溶液先后旋涂在经步骤2处理的单晶硅片,以使在一维硅纳米线阵列中原位引发吡咯聚合成聚吡咯,形成具有聚吡咯表面修饰一维硅纳米线阵列的单晶硅片,实现对NH3气体在室温下的瞬时检测,并且具有良好的选择性。
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标签:化学分析
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