简介： 本发明公开了属于精密仪器的一种微小型高压流体控制阀。该阀主要由中间连接件分别连接致动器和阀座,弹性薄膜装在中间连接件和阀座之间,活动阀堵在中间连接件中央的导向孔内压在弹簧膜上面,弹性膜将致动部分和流体通道部分隔开,并作为装配密封件。致动器提供阀开关的动力,通过可动阀堵使弹性薄膜变形,开启或封闭流体的出入口,从而实现阀控功能。根据致动器提供的致动力和对阀堵与薄膜层的预紧形式,可得到常开或常闭二种控制阀。该阀结构设计可以较小的致动力控制高压流体,而且阀座部分结构特征为片层,与硅微细加工工艺兼容。其阀座可以有效的减小死区流量,提高控制精度,主要用于微型化学分析仪器,实现微小流量达到纳升到微升范围的精确控制。