简介： 采用三元钛镍铜形状记忆合金膜驱动的弦锥结构微驱动器及其制备方法,形状记忆合金驱动薄膜采用溅射方式沉积,并应用MEMS工艺完成条形化电阻设计。微驱动器的上、下体结构采用SI刻蚀工艺制备,并实现键合焊接,其组成包括:能起到压力泵作用的上体(2)及阀体作用的下体(3),所述的上体(2)及下体(3)加工成具有压力泵作用的驱动腔(4);所述的下体(3)在加工驱动腔(4)的同时,制成具有单流向阀的阀体扩张管(5)和收缩管(6);所述的阀体扩张管和收缩管分别与进水管道(7)和出水管道(8)相对准连接,所述的弦锥结构微驱动器上装有三元TINICU/SI形状记忆合金驱动薄膜(1)。本发明可广泛应用于流体微量传送、集成系统冷却及微量化学分析等领域。