简介： 本发明公开了一种在数字微流生化检测等极低样品消耗的检测应用领域中，能够对数字微流控芯片中携带不同成分的液滴所发生的化学反应进行实时监测的集成共形光传感结构的电润湿数字微流芯片。该芯片在不改变当前电润湿结构与性能的基础上，在电润湿的相邻的电极间隙嵌入一个亚波长尺度的光传感结构并在结构上保持与电润湿结构疏水层共一个平面的共形结构，通过检测液滴反应过程中发生的折射率微小变化所导致的光传感结构光场变化而实现对微液滴成份及位置的测定。与传统的电容、电阻抗传感器、电化学传感以及分立原件组成的光传感相比，本发明具有结构简单，标准CMOS兼容工艺更易于集成，成本低、精度高的优点。此外，传感结构与电润湿结构共形的特性使得传感功能的加入不会以降低电润湿性能为代价。