简介： 本发明公开了一种光学感应器，包括一具有上表面的衬底，位于衬底上的多个突起，其中多个突起中的每一个由衬底上表面的底部及一个或更多的与衬底上表面成一倾斜角的斜表面决定，及位于斜表面上的两个或更多的结构层。两个或更多的结构层的表面能够吸附化学或生物物质的分子。本发明还公开了一种包含上述光学感应器的系统及制作使用光散射感应物质的微结构的方法。本发明公开的系统和方法能够增强检测痕量化学物质的散射光的强度。多层纳米结构中多层的不同物质组成也能允许不同类型的化学分子被吸附到纳米结构的表面，从而能够检测多于一种类型的痕量化学物质。