简介： 本发明公开了一种基于超薄四面体碳膜修饰Al纳米结构的表面增强拉曼衬底及其制备方法，它由Al纳米结构衬底和沉积在Al纳米结构衬底上的超薄四面体碳膜组成。制备时，采用纳米球平板印刷术结合金属溅射沉积方法，制备纳米Al三角阵列结构的衬底；然后在纳米Al三角阵列结构衬底上沉积超薄四面体碳膜，在沉积之前，使用Ar离子等离子体清洁所有衬底以去除Al膜的氧化层。本发明所述的基于超薄四面体碳膜修饰超薄四面体碳膜纳米结构的表面增强拉曼衬底可以广泛应用于化学污染物微量检测及生物分子的拉曼检测。本发明所述的基于超薄四面体碳膜修饰超薄四面体碳膜纳米结构的表面增强拉曼衬底可以广泛应用于化学污染物微量检测及生物分子的拉曼检测。