简介： 本申请公开了一种称重装置，用于测定化学气相沉积法作用对象的重量，包括重量检测机构与设置在加热炉内的用于放置化学气相沉积法作用对象的料板，在所述料板的底部设置有支撑件，所述支撑件穿过所述加热炉的底部并延伸至所述加热炉外，所述支撑件能够相对于所述加热炉的竖直移动，所述支撑件置于所述重量检测机构上。本申请提供的称重装置，能够实时测定化学气相沉积法作用对象的重量，直至作用对象上的重量达标，不仅节约能源，而且提高了生产效率。