简介： 本发明公开了一种金属氢化物薄片制备方法，目的在于解决轻金属氢化物在大气环境极易与水发生化学反应，常规砂纸打磨方法制备的金属氢化物薄片会在其表面生成水解产物，造成太赫兹特征波失真，并影响相关材料内部缺陷无损检测效果的问题。本发明为了获得准确的金属氢化物内部缺陷无损检测结果，开发了一种用于提取太赫兹特征波的金属氢化物薄片制备方法。该方法首先利用化学气相沉积技术（CVD）在金属氢化物圆片表面形成一层致密的防水高分子膜，然后再将试件置于金相制样机进行处理，最终在薄片新磨制面化学气相沉积防水膜，获得用于提取太赫兹特征波的金属氢化物薄片。经实际测定，本发明能够有效解决前述问题，保证测定结果的准确性和可靠性。