简介： 本发明属于痕量物质检测技术领域，特别涉及一种表面具有针孔的表面增强拉曼效应基底及制备方法。本发明采用倾斜生长法制备银纳米棒阵列薄膜，再利用低温原子层沉积技术在其表面均匀沉积一层具有针孔的氧化铝薄膜，得到表面具有针孔的银-氧化铝复合纳米结构作为表面增强拉曼效应基底。所述方法可通过调节低温原子层沉积技术的参数来控制氧化铝膜的针孔比例，其超薄的氧化层确保基底具有良好的表面增强拉曼活性，并将内部的银纳米棒与外界环境隔离，大幅度提升了基底的化学稳定性。同时，氧化铝膜和针孔内的银表层均可吸附特定的检测分子，该基底可用于多种化学物质的检测，扩展了表面增强拉曼效应的使用范围，具有广泛的应用前景。