简介： 本发明属于分析化学中的微全分析系统研究技术领域,用以在生化反应和分离过程中监测微反应体系在运行过程中液体样品的流动分布和变化状况。其特征是利用热分布式微流体流量传感器的工作原理,采用MEMS技术,将金属薄膜式微型加热器和温度传感器制作在硅杯上,并使之与石英微管道组合构成热分布式微流体流量传感器;以硅杯作为微型加热器和温度传感器的载体。本发明的效果和益处是有效防止了加热器和温度传感器与硅衬底之间的热交换,提高了微流体流量传感器的测量灵敏度;设计了弯曲蛇形多抽头温度传感器,以获得在某一确定流速情况下,上下游温度传感器间的最大温差。