和阴极转移系数的表征与标定方法,采用线性扫描伏安法测定,本发明还提供了一种TSV电镀添加剂扩散系数的表征与标定方法,采用计时安培分析法测试,本发明利用电化学工作站,设计上述简单的测试方法,方便、有效地获得电镀液交换电流密度、阴极转移系数与添加剂扩散系数。 1">
标题:TSV电镀添加剂参数的表征与标定方法及装置