简介： 本发明涉及压电谐振器的阵列集成芯片。旨在解决已有芯片灵敏度较低、精度较差、制备复杂、干扰较大等问题。本阵列芯片包含压电材料的压电谐振片1及其两侧片面上分别有光整表面的共用电极2和微型电极阵列3。上述芯片的制备方法:1)将压电材料切制成压电谐振片1;2)用真空蒸镀法镀覆导电膜,形成一侧片面上的共用电极2;另一侧片面再经微细加工成微型电极阵列3。适用于微量和超微量的物理量、化学量和生物量的分析检测。