简介： 本发明公开一种表面等离子共振传感器及其制作方法,它涉及到传感器制作技术领域。首先以一种K9玻璃材料为衬底、在所述衬底上制备一单模条形光波导、在所述光波导上淀积一层厚度约为50nm的金属薄膜、在所述金属薄膜上制作一个微型样品池和一个微型参考池;测量时在参考池中装入蒸馏水,用于获取共振波长变化的参考点。基于共振波长差的变化,实现对样品组份的微量检测。经理论分析可知,由于采用了参考池,且它和样品池有相同的温度,使传感器克服了由温度漂移引起的测量误差。该化学SPR传感器,可对海水盐度、溶液中葡萄浓度或乙醇浓度进行检测,精度可达10^-6(0.0001%)。