简介： 本发明提供了一种晶圆金属污染的评估方法，包括步骤：对晶圆进行多次化学处理；对所述晶圆依次进行表面检查、扫描电镜‑X射线能谱分析以及缺陷分类；通过对晶圆进行多次化学处理，与现有评估方法相比，能够在后续对晶圆的处理中检测到晶圆内部更深位置处的缺陷，以增加金属污染检测的精度，提高晶圆金属污染的评估的准确性；并且本发明进行两次表面检查、两次扫描电镜‑X射线能谱分析以及两次缺陷分类，并将两次的结果进行综合分析，从而能够更加精确得获得金属污染的信息，准确的对晶圆金属污染进行评估。