简介： 一种基于二维纳米材料的生物传感器及其制作与集成方法。本发明涉及一种高灵敏度生物传感器及其制作与集成方法，具体涉及基于二维纳米材料的生物传感器及其制作与集成方法。本发明是为了解决现有生物传感器分析速度慢，操作复杂，设备昂贵以及采用电化学法制作的电极其电化学响应易受到非导电性材料使用的影响的问题。本发明的生物传感器的制作集成方法，首先基于黑磷、二硫化钼等二维纳米材料采用自下而上加工方法制作FET场效应管；继而利用聚二甲基硅氧烷在晶片上制作出微流体通道，并与经过表面改性的晶片键合；最后对微流体通道中的二维纳米材料进行化学修饰，并结合待检测物质的相应抗体。