简介： 本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的制作方法与传统方法相比，成本较低、方法简单、易于实现、易于加工复杂图案的弹性簧片；且采用本发明方法加工出的弹性簧片的性能参数(如圆度、直线度、边缘粗糙度等参数)优于采用传统方法加工出的弹性簧片。