简介： 一种可变电容测量装置能够包括在多个不同实施例中描述的任何一个或多个功能部件,以实现一种可靠的、小巧的装置。电容器电极、吸气外壳、夹紧连接器可以沿一共同轴排列,以减小宽度尺寸而不大幅度增加长度。通过选择那些热膨胀系数相互接近的材料,可以减小温度引起的扰动变化。玻璃-陶瓷材料可用作绝缘体并化学连接到金属表面以提供真空密封,从而消除对于一个单独的电极组件内的玻璃密封或槽的需要。此外,单块电极组件可以代替单个电极组件(用于电穿通)和电极。实施例还包括用于使用和形成该装置的过程。