简介:
本发明公开了一种健康监测系统的制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上形成柔性压力传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化太阳能电池,形成柔性压力传感器包括:采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状微结构的第一硅模板;利用第一硅模板,采用倒模工艺处理聚二甲基硅氧烷薄膜,形成具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层,该聚二甲基硅氧烷薄膜层与第一硅模板具有相反的微结构;将具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层转移至第一基底层上;在具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层上形成MXene活性材料层;在MXene活性材料层上形成叉指电极层,以输出MXene活性材料层在受压状态下产生的电信号。
本发明公开了一种健康监测系统的制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上形成柔性压力
传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化
太阳能电池,形成柔性压力传感器包括:采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状微结构的第一硅模板;利用第一硅模板,采用倒模工艺处理聚二甲基硅氧烷薄膜,形成具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层,该聚二甲基硅氧烷薄膜层与第一硅模板具有相反的微结构;将具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层转移至第一基底层上;在具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层上形成MXene活性材料层;在MXene活性材料层上形成叉指电极层,以输出MXene活性材料层在受压状态下产生的电信号。