薄膜静态腐蚀速率测量方法
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薄膜静态腐蚀速率测量方法
来源：北方有色网
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简介： 本发明提供了一种薄膜静态腐蚀速率的测量方法。该方法包括：在晶片的衬底上形成薄膜，将晶片的一部分浸泡在化学机械抛光液中，浸泡一段时间后用轮廓仪测量界面处的高度差，从而得到该薄膜的静态腐蚀速率。
本发明提供了一种薄膜静态腐蚀速率的测量方法。该方法包括：在晶片的衬底上形成薄膜，将晶片的一部分浸泡在化学机械抛光液中，浸泡一段时间后用轮廓仪测量界面处的高度差，从而得到该薄膜的静态腐蚀速率。
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标签：化学分析
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