简介： 一种具有多个量测座的台座空隙平准调整工具,用于在化学气相沉积室内校正台座与扩散器间的相对位置,其中该台座支撑基板且可在该沉积室体中沿着台座轴进行垂直方向移动,及该扩散器,用于将工艺气体扩散至该腔体中,其具有:多个支撑座,可被放置在该台座上的任意指定位置;及多个感应器,分别设置于上述支撑座上,用于在个别指定位置测量该台座与扩散器之间的距离。