嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法
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嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法,所述方法以均匀放置在石英舟和石英管的锌粉为原料,通过化学气相沉积法制备得到氧化锌微米线,然后将制备好的氧化锌微米线转移到洗净的玻璃衬底上,排列整齐,滴入PVAL胶水覆盖氧化锌微米线表面,待胶水凝固后,将氧化锌微米线阵列与PVAL衬底从玻璃衬底揭下,完成氧化锌微米线阵列嵌入柔性衬底的工作,再在氧化锌微米线阵列表面沉积金叉指电极,完成ZnO微米线阵列紫外探测器的制备。所述方法使用PVAL柔性衬底,可以最大程度地保护氧化锌微米线阵列,和电极形成最好的接触,使得器件高度一体化。
本发明公开了一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法,所述方法以均匀放置在石英舟和石英管的粉为原料,通过化学气相沉积法制备得到氧化锌微米线,然后将制备好的氧化锌微米线转移到洗净的玻璃衬底上,排列整齐,滴入PVAL胶水覆盖氧化锌微米线表面,待胶水凝固后,将氧化锌微米线阵列与PVAL衬底从玻璃衬底揭下,完成氧化锌微米线阵列嵌入柔性衬底的工作,再在氧化锌微米线阵列表面沉积金叉指电极,完成ZnO微米线阵列紫外探测器的制备。所述方法使用PVAL柔性衬底,可以最大程度地保护氧化锌微米线阵列,和电极形成最好的接触,使得器件高度一体化。
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标签:化学分析
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