电镀工艺中的现场形貌测量
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电镀工艺中的现场形貌测量
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简介: 一种用于测量电化学镀槽的电解液中的差分电压的方法和装置。从所测的差分电压计算电流密度,然后与镀上的材料厚度值相关联。可以从厚度值中产生实时厚度形貌。
一种用于测量电化学镀槽的电解液中的差分电压的方法和装置。从所测的差分电压计算电流密度,然后与镀上的材料厚度值相关联。可以从厚度值中产生实时厚度形貌。
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标签:化学分析
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