简介： 本发明公开了一种基于泄漏模式共振的小直径硅纳米线阵列的紫外光电探测器及其制备方法，是在(100)晶向的轻掺杂硅晶圆上利用金属辅助化学湿法刻蚀方法形成有小直径硅纳米线阵列，在硅纳米线阵列上铺设有石墨烯薄膜，硅纳米线阵列与石墨烯薄膜形成肖特基势垒，从而构成紫外光电探测器。与基于无机宽禁带半导体的器件相比，本发明的器件具有响应速度快、响应度高、制备简单的优势。