简介:
本发明公开了一种基于热塑性弹性体的压敏元件及面载荷分布测量装置的原理及使用方法。该压敏元件采用在化学腐蚀硅片上形成的周期性金字塔结构负形,将其作为模具在热塑性弹性体平面上形成周期性金字塔结构,通过沉积导电层和刻蚀电路,形成单个或多个导电锥体的选通,测量形变时导电锥体与平面电极之间电容变化,得到施加于上述阵列的载荷及其分布的高灵敏度测量。
本发明公开了一种基于热塑性弹性体的压敏元件及面载荷分布测量装置的原理及使用方法。该压敏元件采用在化学腐蚀硅片上形成的周期性金字塔结构负形,将其作为模具在热塑性弹性体平面上形成周期性金字塔结构,通过沉积导电层和刻蚀电路,形成单个或多个导电锥体的选通,测量形变时导电锥体与平面电极之间电容变化,得到施加于上述阵列的载荷及其分布的高灵敏度测量。