简介： 一种方法，方法包括：获得被配置用于基于输入过程数据来预测制造过程的过程度量的一个或多个模型；以及基于将新的过程数据输入到一个或多个模型，使用强化学习框架来评估一个或多个模型和/或一个或多个模型的模型配置，并且基于输入新的过程数据来确定在预测所述过程度量时所述一个或多个模型和/或模型配置的性能指示。