简介： 本发明公开一种测试镀膜厚度的方法,首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道;然后放在镀膜室里镀膜,由于记号笔或者油墨笔的成分是油性的,溅射时其他物质就很难在衬底上附着和生成;最后,在镀膜后,将衬底和样品浸泡在溶解液里,记号笔或者油墨笔划过的墨痕会反应掉,露出一道或者多道清晰的台阶,这时候在台阶仪上就能测量了。本发明可以提高镀膜工艺中对厚度测试的精确性和易操作性。本发明由于不使用掩模或者化学腐蚀液,可以节省成本和时间;记号笔或者油性笔、乙醇和丙酮等是常备产品,取用和操作便捷;台阶清晰。