日盲光电探测器及其制备方法
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日盲光电探测器及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本公开提供了一种日盲光电探测器的制备方法,包括:S1,以氩气为载气,三乙基镓和氧气为反应前驱物,在衬底上生长氧化镓,以得到第一相混合第二相的初级氧化镓晶片;S2,在所述初级氧化镓晶片上旋涂紫外光刻胶,并在所述旋涂紫外光刻胶初级氧化镓晶片上刻蚀出电极区域;S3,在所述电极区域生长金属电极;S4,去除所述紫外光刻胶。另一方本公开提供了一种日盲光电探测器。本申请中的日盲光电探测器采用混合相氧化镓为主要组成部分,该混合相氧化镓具有低暗流,高响应度等优点。另,使用金属有机物化学气相沉积法制备氧化镓外延层,这种方法具有可大规模生产、对产物质量的调控能力强等优点。
本公开提供了一种日盲光电探测器的制备方法,包括:S1,以氩气为载气,三乙基镓和氧气为反应前驱物,在衬底上生长氧化镓,以得到第一相混合第二相的初级氧化镓晶片;S2,在所述初级氧化镓晶片上旋涂紫外光刻胶,并在所述旋涂紫外光刻胶初级氧化镓晶片上刻蚀出电极区域;S3,在所述电极区域生长金属电极;S4,去除所述紫外光刻胶。另一方本公开提供了一种日盲光电探测器。本申请中的日盲光电探测器采用混合相氧化镓为主要组成部分,该混合相氧化镓具有低暗流,高响应度等优点。另,使用金属有机物化学气相沉积法制备氧化镓外延层,这种方法具有可大规模生产、对产物质量的调控能力强等优点。
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标签:化学分析
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