简介： 本实用新型提供了一种测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品，包括衬底、第一氧化层、多晶硅结构、第二氧化层和氮化钽层，所述第一氧化层设在所述衬底上，所述多晶硅结构设在所述第一氧化层与所述第二氧化层之间，所述氮化钽层设在所述第二氧化层上，本实用新型通过多晶硅结构与氮化钽层的引入，尤其是氮化钽的引入，使得其有效地避免了“电荷效应”对校准用样品的影响，减少了碳氢化合物污染的淀积，增加了测量的准确性，提高了测量关键尺寸的扫描电子显微镜校准用样品的使用寿命。与此同时，通过第二氧化层的引入，有效避免了氮化钽与多晶硅的化学反应。