简介： 本发明公开了一种原位光电测试装置，涉及半导体材料测试技术领域，包括反应炉、激光发射结构和电学性能测试结构，所述反应炉内设置有承载结构，所述承载结构用于承载样品材料，所述激光发射结构通过所述反应炉的一端照射向所述承载结构上的样品材料，所述承载结构上的样品材料与所述电学性能测试结构电连接。本发明通过激光发射结构引入不同波长的可见光及紫外光，实现光催化或者光生电流，能够以原位的方式对光化学气相沉积过程中样品材料的生长、物相变化、结晶生长等过程进行实时光电性能进行表征与研究。