平板探测器结构及其制备方法
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平板探测器结构及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种平板探测器结构及其制备方法,制备方法包括:提供基底,于基底上制备下电极层;提供射线吸收材料液体,射线吸收材料液体包括含铅化合物液体;将射线吸收材料液体涂布于下电极层上,以基于涂布的射线吸收材料液体于下电极层上制备转光层;于转光层上制备上电极层。本发明改进了现有的转光层的材料,提高了转光层的射线吸收能力,减小了转光层的厚度,对转光层等的形成方法进行设计,解决了形成多晶结构存在的问题,提高器件化学组成及相的均一性,提高图像的均匀性,提高原料的有效利用率,简化工艺设备,对探测器的结构进行设计,改善了漏电流的问题,降低了探测器的噪声,提高了灵敏度及对比度,改善了探测器电极材料,降低成本。
本发明提供一种平板探测器结构及其制备方法,制备方法包括:提供基底,于基底上制备下电极层;提供射线吸收材料液体,射线吸收材料液体包括含化合物液体;将射线吸收材料液体涂布于下电极层上,以基于涂布的射线吸收材料液体于下电极层上制备转光层;于转光层上制备上电极层。本发明改进了现有的转光层的材料,提高了转光层的射线吸收能力,减小了转光层的厚度,对转光层等的形成方法进行设计,解决了形成多晶结构存在的问题,提高器件化学组成及相的均一性,提高图像的均匀性,提高原料的有效利用率,简化工艺设备,对探测器的结构进行设计,改善了漏电流的问题,降低了探测器的噪声,提高了灵敏度及对比度,改善了探测器电极材料,降低成本。
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标签:化学分析
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