石墨烯场效应晶体管量子点光电探测器及其制备方法
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石墨烯场效应晶体管量子点光电探测器及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及光电探测领域,具体涉及一种石墨烯场效应晶体管量子点光电探测器及其制备方法;该光电探测器为多层薄膜结构,包括Si衬底层、第一绝缘层、第二绝缘层、石墨烯沟道层、量子点光敏介质层以及源极与漏极;衬底上依次热氧化生长第一绝缘层氧化硅,磁控溅射法生长第二绝缘层氮化铝作为双绝缘层,增强型化学气相沉积法生长石墨烯层于双绝缘层上,石墨烯层两端设有源极和漏极,源极和漏极之间涂覆一层量子点光敏介质层。本发明通过设计合理的器件结构,在光照情况下量子点和石墨烯之间可发生有效的电荷转移,从而将特定频率的光转换成光电流,最终实现对入射光的有效探测。
本发明涉及光电探测领域,具体涉及一种石墨烯场效应晶体管量子点光电探测器及其制备方法;该光电探测器为多层薄膜结构,包括Si衬底层、第一绝缘层、第二绝缘层、石墨烯沟道层、量子点光敏介质层以及源极与漏极;衬底上依次热氧化生长第一绝缘层氧化硅,磁控溅射法生长第二绝缘层氮化作为双绝缘层,增强型化学气相沉积法生长石墨烯层于双绝缘层上,石墨烯层两端设有源极和漏极,源极和漏极之间涂覆一层量子点光敏介质层。本发明通过设计合理的器件结构,在光照情况下量子点和石墨烯之间可发生有效的电荷转移,从而将特定频率的光转换成光电流,最终实现对入射光的有效探测。
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标签:化学分析
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