简介： 本发明公开了一种自洽验证差分光谱仪和测量方法，通过设置一非偏振分束器，一束光实现斜入射反射差分模块测试，另一束光用来实现斜入射差分反射模块测试，本方法可实现秒级的宽光谱差分反射信号和反射差分信号的同时测量，基于两种测量信号建立相应模型，分别迭代反演得到薄膜厚度参量，利用同一时刻的薄膜厚度参量必然唯一这一实际属性，进行自洽验证，提升测量精度，可广泛应用于纳米薄膜的工业生长领域的化学气相沉积、分子束外延和旋涂等不同工艺的在线监测应用中。