高强石墨烯膜基声波探测器
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高强石墨烯膜基声波探测器
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简介: 本发明公开了一种高强石墨烯膜基声波探测器,该探测器以高强石墨烯膜为主要探测器件,经过组装设计,形成电容器。声波震动,引起石墨烯膜的震动,改变石墨烯膜和基底(电容器的另一极)之间的距离,进而引起电容变化,产生电流信号。此高强石墨烯经真空过滤成膜、化学还原、固相转移、金属喷涂、中温碳化、绿气氯化、高温石墨化等步骤得到。该薄膜整体为石墨烯结构,片层间有大量层间交联结构。整体薄膜厚度为20‑50nm。此石墨烯膜电导率可控、强度可调,可用作高强声波探测器件。
本发明公开了一种高强石墨烯膜基声波探测器,该探测器以高强石墨烯膜为主要探测器件,经过组装设计,形成电容器。声波震动,引起石墨烯膜的震动,改变石墨烯膜和基底(电容器的另一极)之间的距离,进而引起电容变化,产生电流信号。此高强石墨烯经真空过滤成膜、化学还原、固相转移、金属喷涂、中温碳化、绿气氯化、高温石墨化等步骤得到。该薄膜整体为石墨烯结构,片层间有大量层间交联结构。整体薄膜厚度为20‑50nm。此石墨烯膜电导率可控、强度可调,可用作高强声波探测器件。
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标签:化学分析
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