测量LTPS显示面板的TFT电性的方法
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测量LTPS显示面板的TFT电性的方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明提供一种测量LTPS显示面板的TFT电性的方法,其通过化学试剂同时与有机平坦层以及第二金属层中的铝反应,去除有机平坦层、第二金属层中的铝、以及第二金属层中的位于铝和有机平坦层之间的第一金属材料,仅保留第二金属层中位于远离所述有机平坦层一侧的第一金属材料,去除有机平坦层时不需要保留第二金属层中的铝,避免因第二金属层中的铝表面蚀刻不均匀导致的TFT电性测量偏差,能够准确测量LTPS显示面板的TFT电性,提升LTPS显示面板的TFT电性的测量成功率,保证LTPS显示面板产品良率。
本发明提供一种测量LTPS显示面板的TFT电性的方法,其通过化学试剂同时与有机平坦层以及第二金属层中的
铝
反应,去除有机平坦层、第二金属层中的铝、以及第二金属层中的位于铝和有机平坦层之间的第一金属材料,仅保留第二金属层中位于远离所述有机平坦层一侧的第一金属材料,去除有机平坦层时不需要保留第二金属层中的铝,避免因第二金属层中的铝表面蚀刻不均匀导致的TFT电性测量偏差,能够准确测量LTPS显示面板的TFT电性,提升LTPS显示面板的TFT电性的测量成功率,保证LTPS显示面板产品良率。
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标签:化学分析
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