基于石墨烯-CMOS单片集成的探测器芯片的制备方法及系统
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基于石墨烯-CMOS单片集成的探测器芯片的制备方法及系统
来源:北方有色网
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简介: 本公开提供了一种基于石墨烯‑CMOS单片集成的探测器芯片的制备方法,包括:S1,在CMOS集成电路表面沉积隔离层;S2,在隔离层中刻蚀通孔,填充金属;S3,在隔离层表面溅射金属镍层;S4,在金属镍层的表面等离子增强化学气相淀积石墨烯;S5,腐蚀去除金属镍层;S6,制备电极,得到基于石墨烯‑CMOS单片集成的探测器芯片。本公开还提供了一种基于石墨烯‑CMOS单片集成的探测器芯片的红外成像系统。本公开通过引入石墨烯‑CMOS单片集成探测器芯片可以实现多光谱的红外成像,有效地解决了现有红外成像领域低成本、多光谱红外成像的技术难点。
本公开提供了一种基于石墨烯‑CMOS单片集成的探测器芯片的制备方法,包括:S1,在CMOS集成电路表面沉积隔离层;S2,在隔离层中刻蚀通孔,填充金属;S3,在隔离层表面溅射金属层;S4,在金属镍层的表面等离子增强化学气相淀积石墨烯;S5,腐蚀去除金属镍层;S6,制备电极,得到基于石墨烯‑CMOS单片集成的探测器芯片。本公开还提供了一种基于石墨烯‑CMOS单片集成的探测器芯片的红外成像系统。本公开通过引入石墨烯‑CMOS单片集成探测器芯片可以实现多光谱的红外成像,有效地解决了现有红外成像领域低成本、多光谱红外成像的技术难点。
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标签:化学分析
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