简介： 本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒(VO_x)的敏感材料(15)的至少一个微测辐射热计(10)的方法，所述敏感材料包括氮作为附加化学元素，所述方法包括以下步骤：i.确定附加化学元素(N)的非零有效量，基于该有效量，在温度T_r下经受暴露持续时间Δt_r的步骤的敏感材料(15)在环境温度下的电阻率ρ_a|r大于或等于所述敏感材料(15)在环境温度下的固有值ρ_a的50％；ii.将所述敏感材料(15)制成薄层，其附加化学元素(N)的量大于或等于之前确定的有效量，所述敏感材料是非晶的，并且具有1至30Ω.cm的电阻率；iii.在T_r温度下将所述敏感材料(15)暴露持续时间Δt_r。