AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及其制备方法
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及其制备方法
来源:北方有色网
访问:1215
简介: 本发明公开了一种日盲型紫外探测器及其制备方法,包括衬底和缓冲层,所述缓冲层的上面设置有吸收层,吸收层的上面设置有SiO2层和肖特基接触电极。制备步骤包括,在缓冲层上面,采用金属有机化学气相沉积方法生长一层非故意掺杂的非故意掺杂的300nm厚的n-Al0.6Ga0.4N吸收层,载流子浓度约为8×1015cm-3;再沉积SiO2层、制作肖特基接触金属电极、再电镀压焊点、划片、引线键合、封装。本发明的特点在于器件的响应波长为200~272nm,在日盲范围内。
本发明公开了一种日盲型紫外探测器及其制备方法,包括衬底和缓冲层,所述缓冲层的上面设置有吸收层,吸收层的上面设置有SiO2层和肖特基接触电极。制备步骤包括,在缓冲层上面,采用金属有机化学气相沉积方法生长一层非故意掺杂的非故意掺杂的300nm厚的n-Al0.6Ga0.4N吸收层,载流子浓度约为8×1015cm-3;再沉积SiO2层、制作肖特基接触金属电极、再电镀压焊点、划片、引线键合、封装。本发明的特点在于器件的响应波长为200~272nm,在日盲范围内。
0
0
0
0
0
         
标签:化学分析
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论(0条)
200/200
牛津仪器科技(上海)有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号:京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号:京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号