简介： 本实用新型提供了一种监测特气的装置及半导体设备，所述监测特气的装置包括指示剂容器、光谱侦测系统、处理器和报警器；指示剂容器内包含指示剂，指示剂用于与特气发生化学反应并发生颜色变化；光谱侦测系统和报警器分别与处理器连接；光谱侦测系统用于获取指示剂的颜色；处理器用于判断是否发生特气泄漏，并控制报警器开启或关闭。指示剂不易受酒精等其它物质干扰，并且可以与微小浓度的特气快速发生化学反应，从而可以在特气发生微量泄漏时即可发出报警信号，提高了安全性。