简介： 本发明是在于提供一种以高精度评价硅基板制造工艺或装置制造工艺中的金属污染或结晶缺陷的硅基板的再结合寿命测定方法。本发明是在对硅基板的表面进行化学钝化处理之后，测定再结合寿命的方法，从所述化学钝化处理到所述再结合寿命的测定结束的期间，至少进行防护所述硅基板不受紫外线照射的紫外线防护处理。